PALD廠(chǎng)家

一、核心參數：  

價(jià)格區間：10萬(wàn)-50萬(wàn)  

產(chǎn)地類(lèi)別：國產(chǎn)原子層沉積系統（ALD）  

襯底尺寸：4寸  

工藝溫度：RT-300℃  

前驅體數：4組液態(tài)或固態(tài)前驅體  

重量：40KG  

尺寸(WxHxD)：500*400*400mm  

均勻性：99.9%  

二、原子層沉積（Atomiclayerdeposition)是通過(guò)將氣相前驅體脈沖交替地通入反應腔體內并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應而形成沉積膜的一種技術(shù)，具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。  

三、桌面式原子層沉積系統PALD廠(chǎng)家產(chǎn)品描述：  

廈門(mén)韞茂科技公司研發(fā)的超小型桌式ALD原子層沉積設備是*材料研究的有力設備之一，它可以在4寸晶元（向下兼容）和微納米粉體上實(shí)現均勻可控的原子層沉積，具有廣泛的應用領(lǐng)域，設各配有獨立控制的300℃完整加熱反應腔室系統，保證工藝溫度均勻，該系統具有粉末樣品桶、晶元載盤(pán)，全自動(dòng)溫控制、ALD前驅體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級安全控制，以及現場(chǎng)RGA、QCM、臭氧發(fā)生器、手套箱等設計選項，是*能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應用的最佳研發(fā)工具  

四、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供桌面式原子層沉積系統PALD廠(chǎng)家的參數、價(jià)格、型號、原理等信息，產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號為MiniDesktopALD，價(jià)格為50萬(wàn)RMB，更多相關(guān)信息可咨詢(xún)，公司客服電話(huà)7*24小時(shí)為您服務(wù)。  

五、售后服務(wù)：  

保修期：1年  

是否可延長(cháng)保修期：否  

現場(chǎng)技術(shù)咨詢(xún)：有  

免費培訓：1.設備出廠(chǎng)前，提供至少2人一周的設備原廠(chǎng)培訓。2.設備在現場(chǎng)完成安裝調試  

免費儀器保養：有需要可安排  

保內維修承諾：保修期內（除天災和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

報修承諾：質(zhì)保期內出現故障時(shí)我司將及時(shí)響應，并在8小時(shí)內派技術(shù)人員到現場(chǎng)解決故障  

六、技術(shù)參數：