一、磁控濺射鍍膜機廠(chǎng)家核心參數：  

價(jià)格區間：150萬(wàn)-200萬(wàn)  

儀器種類(lèi)：磁控濺射鍍膜機  

產(chǎn)地類(lèi)別：國產(chǎn)  

應用領(lǐng)域：微電子學(xué)  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：鉭  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：基板刻蝕均一性<3%  

極限真空：極限真空UltimatePressure<3E-9Torr  

二、磁控濺射技術(shù)原理：  

在陰極靶的表面上方形成一個(gè)正交電磁場(chǎng)。當濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極位降區內被加速為高能電子后，并不直接飛向陽(yáng)極，而是在正交電磁場(chǎng)作用下作來(lái)回振蕩的近似擺線(xiàn)的運動(dòng)。高能電子不斷與氣體分子發(fā)生碰撞并向后者轉移能量，使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子最終沿磁力線(xiàn)漂移到陰極附近的輔助陽(yáng)極而被吸收，避免高能電子對極板的強烈轟擊，消除了二級濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷，體現出磁控濺射中極板“低溫"的特點(diǎn)。由于外加磁場(chǎng)的存在，電子的復雜運動(dòng)增加了電離率，實(shí)現了高速濺射。  

三、磁控濺射鍍膜機廠(chǎng)家技術(shù)特點(diǎn)：  

成膜速率高，基片溫度低，膜的粘附性好，可實(shí)現大面積鍍膜  

四、售后服務(wù)：  

保修期：1年  

是否可延長(cháng)保修期：否  

現場(chǎng)技術(shù)咨詢(xún)：有  

免費培訓：1.設備出廠(chǎng)前，提供至少2人一周的設備原廠(chǎng)培訓。2.設備在現場(chǎng)完成安裝調試  

免費儀器保養：有需要可安排  

保內維修承諾：保修期內（除天災和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔  

報修承諾：質(zhì)保期內出現故障時(shí)我司將及時(shí)響應，并在8小時(shí)內派技術(shù)人員到現場(chǎng)解決故障；  

五、技術(shù)參數：  

六、工藝展示：