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6-19
一、技術(shù)原理超高真空鍍膜技術(shù),其核心在于“超高真空”環(huán)境。在此環(huán)境下,通過(guò)物理或化學(xué)方法,將鍍膜材料沉積到基材表面,形成一層薄膜。這一過(guò)程涉及材料的蒸發(fā)、凝結和化學(xué)反應,實(shí)現基材表面性能的改善和增強。由于超高真空環(huán)境提供了無(wú)塵、低氣體干擾的條件,因此能夠獲得高純度、高均勻性的膜層。二、技術(shù)優(yōu)勢高純度:超高真空環(huán)境保證了鍍膜材料的高純度,從而提高了膜層的質(zhì)量。高均勻性:在超高真空下,鍍膜材料能夠均勻沉積在基材表面,形成均勻的膜層。良好的附著(zhù)性:由于鍍膜材料與基材之間的結合力強,...
6-15
原子層沉積設備因其優(yōu)異的薄膜質(zhì)量、精確的厚度控制和廣泛的材料適用性而在眾多領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注。一、材料適應性在材料適應性方面表現出色。由于其基于自限制表面反應的原理,ALD技術(shù)可以適應多種材料,包括金屬、金屬氧化物、氮化物、硫化物等。這使得原子層沉積設備在微電子、光電子、催化、生物醫學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應用前景。為了進(jìn)一步提升材料適應性,研究者們不斷探索新的前驅體和反應氣體組合。通過(guò)選擇具有高反應活性和良好熱穩定性的前驅體,以及優(yōu)化反應條件,可以實(shí)現對更多材料的ALD沉積。此外,...
6-9
原子層沉積系統和化學(xué)氣相沉積是兩種廣泛應用于薄膜制備的技術(shù)。它們各自具備特點(diǎn)和優(yōu)勢,但在應用場(chǎng)景和性能表現上也存在顯著(zhù)差異。一、基本原理原子層沉積系統:基于自限制表面反應原理,通過(guò)交替通入前驅體氣體和吹掃氣體,實(shí)現薄膜的逐層生長(cháng)。在每個(gè)生長(cháng)周期中,前驅體氣體在基體表面吸附并發(fā)生化學(xué)反應,形成單層薄膜。通過(guò)控制生長(cháng)周期數,可以精確控制薄膜的厚度?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD):CVD技術(shù)是通過(guò)將氣態(tài)前驅體導入反應室,在高溫下使其發(fā)生化學(xué)反應并沉積在基體表面形成薄膜。CVD過(guò)程通常涉及氣...
5-30
高效能磁控濺射鍍膜機是現代薄膜制備技術(shù)的重要工具,其技術(shù)細節和應用案例廣泛且深入。以下是對其技術(shù)細節和應用案例的簡(jiǎn)要介紹:一、技術(shù)細節靶材與基片的處理:為確保濺射效果,靶材背面和濺射靶表面的結合經(jīng)過(guò)特殊處理,以減少接觸電阻,防止靶材發(fā)熱升溫,確保鍍膜質(zhì)量。調整靈活性:基片和靶材之間的距離以及磁控濺射靶頭的角度均可調整,以適應不同靶材的成膜工藝要求,并優(yōu)化鍍膜的均勻性。一體化柜式結構:設備采用一體化柜式結構,占地面積小,且操作安全性高。先進(jìn)的控制系統:采用計算機+PLC兩級控制...
5-28
磁控濺射鍍膜機作為一種先進(jìn)的表面處理技術(shù),具有顯著(zhù)的優(yōu)勢,同時(shí)也存在一些劣勢。以下是針對其優(yōu)勢和劣勢的詳細分析:優(yōu)勢:基板低溫性:相對于二級濺射和熱蒸發(fā)來(lái)說(shuō),磁控濺射加熱少,有利于實(shí)現織物的上濺射。高沉積率:在沉積大部分的金屬薄膜,尤其是高熔點(diǎn)的金屬和氧化物薄膜時(shí),如濺射鎢、鋁薄膜和反應濺射TiO2、ZrO2薄膜,具有很高的沉積率。環(huán)保工藝:磁控濺射鍍膜法生產(chǎn)效率高,且沒(méi)有環(huán)境污染,相較于傳統的濕法電鍍具有明顯優(yōu)勢。涂層牢固性好:濺射薄膜與基板有著(zhù)的附著(zhù)力,機械強度也得到了改...
5-21
桌面式原子層沉積系統是一種緊湊型、用戶(hù)友好的薄膜沉積設備,它在科學(xué)研究和工業(yè)應用中提供了一種高效且精確的涂覆解決方案。該系統的設計旨在提供實(shí)驗室級別的薄膜沉積能力,同時(shí)占用的空間較小。它們通常配備有直觀(guān)的用戶(hù)界面,如觸摸屏或計算機軟件,使得用戶(hù)能夠輕松進(jìn)行設備的操作和參數設置。系統的操作流程往往被簡(jiǎn)化,以確保即使是沒(méi)有專(zhuān)業(yè)技能的用戶(hù)也能快速學(xué)會(huì )如何使用。簡(jiǎn)易操作主要體現在以下幾個(gè)方面:1.直觀(guān)的用戶(hù)界面:圖形化界面使得操作者能夠快速理解和設置各種沉積參數。2.自動(dòng)化過(guò)程:系統...
5-15
量子鍍膜設備是一種薄膜沉積技術(shù),它利用量子力學(xué)原理來(lái)設計和制造具有特定光學(xué)性質(zhì)的薄膜。在光學(xué)工業(yè)中,已經(jīng)開(kāi)始被應用于制造高性能的光學(xué)組件,如透鏡、反射鏡、分光鏡等,并展現出廣闊的應用前景。量子鍍膜設備的一個(gè)核心應用是在激光器制造中。激光器的光學(xué)組件需要非常精確的鍍膜以控制其反射和傳輸特性。通過(guò)量子鍍膜技術(shù),可以制造出高反射率或低透射率的薄膜,這對于提高激光器的效率和性能至關(guān)重要。另一個(gè)應用是在光通信領(lǐng)域。隨著(zhù)光纖通信技術(shù)的發(fā)展,對光纖組件的鍍膜要求越來(lái)越高??梢杂脕?lái)制造具有特...
2-28
粉末原子層沉積(PALD)技術(shù)在半導體工業(yè)中的應用日益廣泛,為納米制造領(lǐng)域帶來(lái)了革命性的突破。半導體工業(yè)對材料的質(zhì)量和精確度的要求高,而PALD技術(shù)以其優(yōu)勢滿(mǎn)足了這些要求。PALD技術(shù)通過(guò)逐層沉積的方式,在基底上精確控制材料的原子層厚度,從而實(shí)現了納米級的制造精度。這種技術(shù)不僅可以制備高質(zhì)量的薄膜,還能夠實(shí)現復雜的三維結構,為半導體器件的設計提供了更大的靈活性。在半導體工業(yè)中,PALD技術(shù)被廣泛應用于制備高性能的介質(zhì)層、阻擋層和導電層等。介質(zhì)層在半導體器件中起到絕緣和隔離的作...
2-1
磁控濺射鍍膜機是一種高精度、高效率的表面處理設備,其應用范圍非常廣泛。以下是一些常見(jiàn)的應用領(lǐng)域:功能性薄膜:磁控濺射鍍膜技術(shù)可以制備各種功能性薄膜,如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。這些薄膜可應用于太陽(yáng)能電池、平板顯示器件、傳感器等領(lǐng)域。裝飾領(lǐng)域:磁控濺射鍍膜技術(shù)可以制備各種全反射膜及半透明膜等,如手機外殼、鼠標等產(chǎn)品的表面處理。這些膜層具有高光澤度、高硬度和耐劃痕等特點(diǎn),能夠提高產(chǎn)品的外觀(guān)質(zhì)量和耐久性。微電子領(lǐng)域:磁控濺射鍍膜技術(shù)可以作為非熱式鍍膜技術(shù),應用于...
1-3
磁控濺射鍍膜機具有廣泛的應用領(lǐng)域,具體如下:功能薄膜領(lǐng)域:各種功能性薄膜,如吸收、透射、反射、折射、偏振等作用的薄膜,例如低溫沉積氮化硅減反射膜,以提高太陽(yáng)能電池的光電轉換效率。裝飾領(lǐng)域:各種全反射膜及半透明膜等,如手機外殼、鼠標等。微電子領(lǐng)域:作為非熱式鍍膜技術(shù),主要應用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)中,用于生長(cháng)薄膜材料。光學(xué)領(lǐng)域:中頻閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射技術(shù)已應用于光學(xué)薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導電玻璃等方面。透明導電玻璃廣泛應用于...
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